物联网产业中的关键技术之一便是传感器技术，mems传感器已经广泛应用于物联网中的各个领域。过去几年中，mems传感器的销售额一直保持着稳步的增长。
近年来，随着消费电子、汽车电子产品等下游行业的快速发展、全球电子整机产业以及硬件创新市场逐渐向中国转移，中国市场对于 mems 器件的需求增速远高于全球 mems 市场增速。
mems中的核心元件一般包含两类：一个传感器或执行器，以及一个信号传输单元。传感器将外界信号转换为电信号，执行器与外界产生作用，信号传输单元能够对信号进行处理以及与其他连接。此类传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等优点，在诸多领域中具备传统的机械传感器所难以比拟的比拟的优势。
产品概述
mems气体传感器是利用mems工艺在si基衬底上制作微热板，所用气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体浓度越高，传感器的电导率就越高。在这种情况下，只需使用较为简单的电路，即可将电导率的变化转变为电流的变化，进而生成与该气体浓度相对应的输出信号。
本款产品采用数字量进行检测数据的传递，该数据传输模式抗干扰性能好，同时不会因阻抗匹配问题影响测量的准确度，并且输出数据更便于计算机系统进行数值运算分析，输出数值不易产生附加误差。
产品亮点
1.微型化设计。产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应速度更快，同时，mems传感器表面体积比高的特性，也意味着传感器的敏感程度更高。
2.高度集成。不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器和执行器，可以被集成于一体，形成高效、多功能的微传感器阵列或微执行器阵列，在小体积状态下实现更多功能。
3.高温、低温环境下工作适应性良好。产品功耗较低，工作过程中基本不产生热辐射，不会令周围环境产生明显的温度湿度变化，不影响相关监测过程的进行。
4.抗震性好。mems传感器体积小、重量轻，处于震颤状态下时不易发生形变或移位现象，可保持检测性能处在正常状态下。
5.使用寿命长。
产品参数
可测气体类型
使用注意事项
应用领域
